SCIENTIFIC RESEARCH
科研
機(jī)臺真空磁懸浮電機(jī)
磁懸浮電機(jī)及其控制器
半導(dǎo)體行業(yè)中RTP、RTA工藝中涉及到的快速退火設(shè)備，其中利用磁懸浮轉(zhuǎn)臺對晶圓進(jìn)行穩(wěn)定懸浮和旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)相應(yīng)的工藝要求。
磁懸浮電機(jī)控制器在正常運(yùn)行時(shí)可控制電機(jī)平穩(wěn)運(yùn)行，轉(zhuǎn)速波動在工作范圍內(nèi)可達(dá)到要求精度；具備轉(zhuǎn)子運(yùn)動狀態(tài)監(jiān)控功能，在設(shè)備產(chǎn)生故障時(shí)，能夠及時(shí)報(bào)警并生成異常日志，以便后續(xù)故障排查；具備定子溫度監(jiān)控及過溫保護(hù)功能；具備斷電保護(hù)、急停功能，可在斷電、失載、過載、偏心、跳動超標(biāo)等情況下提供設(shè)備保護(hù)等。
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